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          HONDA本多電子 石英振動體清洗機

          HONDA本多電子 石英振動體清洗機
          實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔,具有小型化圖案的晶圓,具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上,清洗半導(dǎo)體晶圓通過
          化學(xué)溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導(dǎo)體晶圓,接觸點處的化學(xué)溶液振動,加速度去除表面的污垢。
          ■ 實現(xiàn)清潔清潔,減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學(xué)溶液接觸,與使用橡膠材料的設(shè)備(如填料)相比,不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。

          • 產(chǎn)品型號:W-357-1MQG-SKC
          • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
          • 更新時間:2024-11-29
          • 訪  問  量:638
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          聯(lián)系電話:0755 29008188

          產(chǎn)品詳情

          HONDA本多電子 石英振動體清洗機

          實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔,具有小型化圖案的晶圓,具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上,清洗半導(dǎo)體晶圓通過

          化學(xué)溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導(dǎo)體晶圓,接觸點處的化學(xué)溶液振動,加速度去除表面的污垢。

          ■ 實現(xiàn)清潔清潔,減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學(xué)溶液接觸,與使用橡膠材料的設(shè)備(如填料)相比,不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。

          2006年,我們成為一家將石英振動超聲波清洗裝置商業(yè)化的公司。在這種方法中,超聲波疊加在石英振動器上以清潔半導(dǎo)體晶圓。
                與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學(xué)溶液的使用量,并且由于接液部件僅是石英玻璃和橡膠材料(如填料)不與液體接觸,因此可以保持高水平的清潔度。
                此外,通過根據(jù)用途準(zhǔn)備石英振動器的形狀,可以根據(jù)需要進行有效的清潔,例如低損傷清潔、大面積清潔以及斜面(端面)和缺口(晶圓端面的切口)的清潔。



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          HONDA本多電子 石英振動體清洗機

          由于配備了換能器冷卻功能,因此通過用氣體(氮氣等)冷卻換能器,可以穩(wěn)定連續(xù)運行,而不會出現(xiàn)頻率波動。此外,通過冷卻,溫度不會突然變化,使用壽命長。

          磨邊后的抗蝕劑殘留物去除,灰化后的聚合物去除,CMP后的柵極電極清洗

          振蕩器

          W-357-1MQG-SKC型
          振蕩模式單頻振蕩
          額定功率12
          標(biāo)稱振蕩頻率1兆赫
          電源輸入AC100V~240V
          單相 50/60Hz 300VA
          尺寸
          :寬x深x高
          180×250×100
          (不包括突起部分,包括橡膠腳墊)
          質(zhì)量數(shù)量2.2千克

          ● 工作液溫度范圍:20~50°C
          ● 換能器:PZT
          ● 材質(zhì):振動體:石英玻璃,包裝:硅橡膠,外殼:PCTFE
          ● 線長:輸出線1.5米+繼電器線3.5米
          ● 空氣吹掃接頭:兼容管(外徑φ6)

          * 2MHz 和 3MHz 也可提供定制規(guī)格。



          振動體

          流量
          長度159毫米
          卡盤截面尺寸φ24毫米
          照射面積24厘米2
          質(zhì)量600克

          ● 工作液溫度范圍:20~50°C
          ● 換能器:PZT
          ● 材質(zhì):振動體:石英玻璃,包裝:硅橡膠,外殼:PCTFE
          ● 線長:輸出線1.5米+繼電器線3.5米
          ● 空氣吹掃接頭:兼容管(外徑φ6)

           * 2MHz 和 3MHz 也可提供定制規(guī)格。


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