HONDA本多電子石英振動體清洗機

HONDA本多電子石英振動體清洗機
實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導體晶圓通過
化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導體晶圓，接觸點處的化學溶液振動，加速度去除表面的污垢。
■ 實現(xiàn)清潔清潔，減少對半導體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。

產品型號：W-357-1MQG-SKC
廠商性質：經銷商
更新時間：2024-11-29
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HONDA本多電子石英振動體清洗機

實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導體晶圓通過

化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導體晶圓，接觸點處的化學溶液振動，加速度去除表面的污垢。

■ 實現(xiàn)清潔清潔，減少對半導體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。

2006年，我們成為一家將石英振動超聲波清洗裝置商業(yè)化的公司。在這種方法中，超聲波疊加在石英振動器上以清潔半導體晶圓。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學溶液的使用量，并且由于接液部件僅是石英玻璃和橡膠材料（如填料）不與液體接觸，因此可以保持高水平的清潔度。
此外，通過根據(jù)用途準備石英振動器的形狀，可以根據(jù)需要進行有效的清潔，例如低損傷清潔、大面積清潔以及斜面（端面）和缺口（晶圓端面的切口）的清潔。

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HONDA本多電子石英振動體清洗機

由于配備了換能器冷卻功能，因此通過用氣體（氮氣等）冷卻換能器，可以穩(wěn)定連續(xù)運行，而不會出現(xiàn)頻率波動。此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。

磨邊后的抗蝕劑殘留物去除，灰化后的聚合物去除，CMP后的柵極電極清洗

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型	W-357-1MQG-SKC型
振蕩模式	單頻振蕩
額定功率	12
標稱振蕩頻率	1兆赫
電源輸入	AC100V~240V 單相 50/60Hz 300VA
尺寸：寬x深x高	180×250×100 （不包括突起部分，包括橡膠腳墊）
質量數(shù)量	2.2千克

流量	未定
長度	159毫米
卡盤截面尺寸	φ24毫米
照射面積	24厘米2
質量	600克

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