技術(shù)背景
半導體行業(yè)作為我國新出現并快速發(fā)展的一個(gè)生產(chǎn)行業(yè)，主要應用于電子機械制造中，對我們經(jīng)濟發(fā)展具有重要的支撐作用。目前半導體行業(yè)生產(chǎn)廢水主要有三大類(lèi)，分別是含氟廢水、含銅廢水以及含氨廢水，三類(lèi)廢水因為水質(zhì)復雜、污染物含量高，對環(huán)境均具有較為嚴重的影響，加強半導體生產(chǎn)廢水的處理是企業(yè)急需解決的環(huán)保難題。
技術(shù)特點(diǎn)
針對半導體生產(chǎn)廢水的特征污染物和處理要求，中國煤科杭州研究院提出分類(lèi)收集、分質(zhì)處理、達標排放的治理思路和配套工藝，具體而言，對含氟磷廢水采用多級梯度式同步除氟去磷強化預處理技術(shù)；對高氨氮廢水采用高效絮凝澄清預處理；對電鍍含銅廢水采用序批式物化澄清過(guò)濾強化處理，三股廢水預處理后采用調質(zhì)與復合反硝化耦合高密度生物增濃技術(shù)，實(shí)現各類(lèi)污染物分級深度全流程去除，系統具有良好的耐沖擊能力和運行穩定性。
典型案例
中國煤科杭州研究院已將半導體生產(chǎn)廢水成套技術(shù)與裝備應用于多個(gè)同類(lèi)廢水處理工程中，如浙江某半導體有限公司400m3/d半導體廢水處理工程，項目涉及整個(gè)污水處理廠(chǎng)工程設計、設備采購、非標設備制作、安裝、工程調試及技術(shù)服務(wù)，屬EPC交鑰匙工程，廢水經(jīng)物化和生物脫氮處理后實(shí)現達標排放，氨氮＜30mg/L。
浙江某半導體有限公司半導體生產(chǎn)廢水處理工程，處理能力400m3/d
